发明名称 光电导薄膜和使用此薄膜的光生伏打器件
摘要 一种形成在基片上且至少含有氢和硅晶粒的光电导薄膜,用恒定光电流方法测量时,光电导薄膜的Urbach能Eu为60meV或以下。该薄膜作为光电导薄膜,没有光退化,有很好的光电导率,提供的光生伏打器件有很好的温度特性和长期稳定性。
申请公布号 CN1560927A 申请公布日期 2005.01.05
申请号 CN200410061799.1 申请日期 1999.02.15
申请人 佳能株式会社 发明人 狩谷俊光
分类号 H01L31/02;H01L31/0236;H01L31/04;H01L31/075 主分类号 H01L31/02
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种形成在基片上且至少含有氢和硅晶粒的光电导薄膜,其中:用恒定光电流方法测量时,光电导薄膜的Urbach能Eu为60meV或以下,归于Si-H键的氢含量C1原子数%和归于Si-H2键的氢含量C2原子数%有C1/C2≥0.8且3≤C1+C2≤8原子数%的关系。
地址 日本东京