发明名称 METHOD FOR TRANSFERRING ELEMENTS BETWEEN SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1493181(A2) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 EP20030725311 申请日期 2003.03.21
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ASPAR, BERNARD;RAYSSAC, OLIVIER;FOURNEL, FRANCK
分类号 H01L21/67;H01L21/68;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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