| 发明名称 |
Extraction and deceleration of low energy beam with low beam divergence |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6838677(B2) |
申请公布日期 |
2005.01.04 |
| 申请号 |
US20010988565 |
申请日期 |
2001.11.20 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT |
发明人 |
KELLER JOHN H |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/00;H01J7/24 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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