| 发明名称 |
Abrasive article for the deposition and polishing of a conductive material |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US6838149(B2) |
申请公布日期 |
2005.01.04 |
| 申请号 |
US20010021161 |
申请日期 |
2001.12.13 |
| 申请人 |
3M INNOVATIVE PROPERTIES CO |
发明人 |
LUGG PAUL S |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B57/02;B24D3/28;H01L21/304;(IPC1-7):B24D11/00 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
