| 发明名称 |
System for imaging a cross-section of a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6838668(B2) |
申请公布日期 |
2005.01.04 |
| 申请号 |
US20030679100 |
申请日期 |
2003.10.03 |
| 申请人 |
FEI CO |
发明人 |
BERGER STEVE;SCIPIONI LAWRENCE |
| 分类号 |
G01N23/225;G01Q30/02;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/66;(IPC1-7):G21K7/00;G02N23/00 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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