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发明名称 Gate valve assembly
摘要
申请公布号 US6837483(B2) 申请公布日期 2005.01.04
申请号 US20030249175 申请日期 2003.03.20
申请人 WU WEI-YUEH 发明人 WU WEI-YUEH
分类号 C23C16/44;F16K3/02;H01L21/205;H01L21/677;(IPC1-7):F16K3/22 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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