发明名称 |
Titania ultrathin film and method for producing it |
摘要 |
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申请公布号 |
US6838160(B2) |
申请公布日期 |
2005.01.04 |
申请号 |
US20010770400 |
申请日期 |
2001.01.29 |
申请人 |
NAT INST RES INORGANIC MAT |
发明人 |
SASAKI TAKAYOSHI;EBINA YASUO;WATANABE MAMORU |
分类号 |
B32B9/00;B01J21/06;B01J35/02;B05D5/00;B05D7/00;C01G23/00;C01G23/04;C03C17/42;G02B5/20;H01L51/42;(IPC1-7):B32B5/16;B32B3/00;B05D1/18 |
主分类号 |
B32B9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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