| 发明名称 |
Substrate treating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6837632(B2) |
申请公布日期 |
2005.01.04 |
| 申请号 |
US20030646902 |
申请日期 |
2003.08.22 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG |
发明人 |
KOYAMA YASUFUMI;KAMEI KENJI;KITAMOTO TORU;HASHINOKI KENJI;YAMAMOTO SATOSHI;DAININ TOSHIAKI |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G03D5/00;B05C13/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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