以电弧离子蒸镀形成透明导电薄膜之方法

摘要

本发明系一种以电弧离子蒸镀形成透明导电薄膜之方法。首先，提供一基板及一由金属氧化物制成之靶材于具有引弧器之真空设备中，接者，通入适量的氧气于真空设备中，然后利用引弧器产生一阴极电弧于靶材表面以解离此靶材，再以等速率运动的方式移动此基板，并同时加热基板。最后，施加一负偏压于基板以引导由靶材解离之离子沉积于基板上，藉此形成一透明导电薄膜。