| 摘要 |
本发明提供一种单石化流体喷射装置的制作方法。首先于基底之一第一面上形成一图案化牺牲层。按着，形成一图案化结构层于基底上，且覆盖图案化牺牲层。然后，形成一图案化电阻层于结构层上，以形成一加热器。再形成一图案化隔离层，覆盖结构层且具有一加热器接触窗与一第一开口，其中加热器接触窗系至少露出部分加热器。形成一图案化导电层于结构层上，并经由加热器接触窗与加热器连接，以形成一讯号传送线路。之后，再形成一图案化保护层于基底上，覆盖隔离层与导电层，且具有一讯号传送线路接触窗与对应于第一开口之一第二开口。形成一流体通道于基底之一第二面，且第二面系相对于第一面，以露出牺牲层。按着，移除牺牲层以形成一流体腔。最后，沿第二开口与第一开口以蚀刻结构层，而形成一与流体腔连通之喷孔。 |
