在多闸电晶体中形成闸极电极的结构与方法

摘要

在多闸电晶体中形成闸极电极的结构与方法在形成半导体元件的方法中，半导体鳍形成于半导体绝缘基材上。闸极介电层形成于至少一部份之半导体鳍上。第一闸极电极材料形成于闸极介电层上，而第二闸极电极材料形成于第一闸极电极材料上。平坦化第二闸极电极材料，接着选择性地相对第一闸极电极材料，蚀刻第二闸极电极材料。随后蚀刻第一闸极电极材料。