从处理工具回收二氧化碳的方法

摘要

提出一种用以移除和纯化来自批次处理工具之含二氧化碳流体之系统。自处理工具移出至少含有二氧化碳和一或多种辅助溶剂之多相被污染流体并运送至至少一个中压分离器。于中压分离器中，此含污染物的流体被分离成中压之富含二氧化碳的蒸汽流和中压之富含溶剂和污染物的流体。