音响检出机构及其制造方法

摘要

本发明之课题系提供以必要厚度形成振动板且可抑制振动板之变形之音响检出机构。本发明之解决手段，系针对具有在基板A上形成电容器之一对电极且该一对电极当中之一方电极系形成相当于音洞之贯穿孔Ca之背电极C、另一方电极系振动板B之音响检出机构，以形成于基板A之振动板B之膜体为基准，使基板A之基底侧具有氮化矽膜303。