腐蚀性气体侦测器及其系统

摘要

本发明之腐蚀性气体侦测器包含至少一半导体元件及一电性侦测计。该半导体元件包含一晶圆基座及一设置于该晶圆基座上之一金属桥。该电性侦测计可为一电阻计或一安培计，其系电连接于该金属桥两端，用以测量该金属桥之电性之变化。该金属桥两端可设置两焊垫，以方便拉线连接该电性侦测计。该金属桥大多采用铝金属、铝–铜合金或铝–矽–铜合金，其宽度约介于0.5至2微米之间，高度则介于0.3至1微米之间。