薄膜图案形成方法,装置及其制造方法,以及光电装置,电子机器,主动矩阵基板的制造方法

摘要

本发明系关于一种薄膜图案形成方法，装置及其制造方法；以及光电装置，电子机器，主动矩阵基板的制造方法；也就是说，本发明系并无液滴残留在间隔壁而形成配线。在间隔壁B间，以既定之间距，来喷出复数个之功能液之液滴而形成薄膜图案。在更加大于液滴直径并且相互邻接之液滴间润湿及扩散于形成在间隔壁B间之沟槽31内之时，以连系之间距L，来喷出液滴。