矽磊晶晶圆及矽磊晶晶圆的制造方法

摘要

一种矽磊晶晶圆(W)，其特征是具备在主表面(11)上具有COP(100)之矽单结晶基板(1)，和该矽单结晶基板(1)之主表面(11)上已被气相成长之矽磊晶晶层(2)，上述主表面(11，对于轴〔100〕从面(100)向〔011〕方向或〔0–1–1〕方向仅倾斜角度θ的同时，向〔01–1〕方向或〔0–11〕方向仅倾斜角度ψ，且，上述角度θ及上述角度ψ的至少一方为0°以上15′以下。