叠合标记之结构以及其形成方法

摘要

本发明提出一种形成叠合标记的方法，此方法系首先在一基底上形成一材料层，并且图案化材料层以形成一外部标记。接着，在材料层上形成一第一膜层，并且进行一平坦化步骤，以移除部分第一膜层。之后，在材料层上形成一第二膜层，覆盖第一膜层，其中第二膜层之应力系与第一膜层之应力不同。然后移除外部标记上方的第二膜层，再于外部标记之内围形成一内部标记。由于本发明将外部标记上方的第二膜层移除，因此可以避免高应力的第二膜层会有沈积厚度不均匀之情形，而造成叠合标记之量测产生错误。