利用微影制程制造微透镜的方法

摘要

一种制造微透镜元件之方法，系至少包括填充焊垫区及晶圆切割道或其他区域，藉以改善该半导体晶圆之拓谱结构。在填充焊垫区及晶圆切割道后，涂布微透镜材料。由于拓谱结构的改善，微透镜材料的厚度会更均匀，因此有助于形成均匀形状之微透镜。