空白光罩及光罩

摘要

〔课题〕提供具有曝光波长即使为短波长，也可充分降低反射率之反射防止膜之空白光罩。〔解决手段〕一种空白光罩，至少在基板上具备包含Cr之遮光膜，和1层或2层以上之反射防止膜，前述反射防止膜之至少1层之膜系包含由氧化矽、氮化矽、氧氮化矽所选择之其中一种之空白光罩。及一种空白光罩，至少在基板上具备包含Cr之遮光膜，和由2层以上所成之反射防止膜，前述反射防止膜至少由：曝光波长透过率高之膜层，和曝光波长透过率比此低，检查波长透过率比曝光波长者高之膜层所构成之空白光罩。