用以化学吸附氢化物气体之洁净剂及净化有害气体之方法

摘要

本发明揭示一种用以处理有害气体之洁净剂，该洁净剂为以共沉淀法制作，具有BET法比表面积至少为60m^2／g。本发明的一典型洁净剂包含20至65重量％的作为活性成份的氧化铜及氧化锌，及作为载体的20至65重量％的二氧化钛和15至60重量％的三氧化二铝。本发明洁净剂可在常温下通过化学吸附去除半导体厂及光电厂制程废气中之有害氢化物成份(如矽烷、四氢化锗、二硼烷、磷化氢与砷化氢)。