站立式微透镜之制程方法

摘要

一种站立式微透镜之制程方法，其利用于微光学或微光电系统之基材上(如：Si基板)形成柱状结构，以高分子聚合物材料(如：光阻、Polyimide等)披覆后，利用柱底基材之侧向蚀刻，使高分子聚合物披覆层悬附于柱状结构上，经隔离制程及适当加热处理，柱状结构侧边悬附之高分子聚合物材料因表面张力内聚，其横截面呈一弦圆状，可结合柱状结构直接作为复合材质微透镜或利用乾式蚀刻拓印其形状于柱状结构上，形成单材质微透镜。