| 摘要 |
本发明揭示一种折反射投影物镜，其用以将配置在该投影物镜之物体平面(102)中之图案成像进入该投影物镜之影像平面(104)，并具有一折反射第一物镜零件(105)，其具有至少一凹面镜(106)；及一折射光学第二物镜零件(108)，而在其中一光瞳平面(111)系位于接近该影像。至少一凹透镜(140，145)系配置于该光瞳平面之一接近区域(160)中，该凹透镜(140，145)设有指向该光瞳平面(111)之一凹入平面(140’，145’)。没有任何具指向该影像平面之强烈弯曲凹入平面之透镜系位于该光瞳平面及该影像平面之间。此投影物镜能以节省材料会同良好光学校正之方式制成，且对于离开该理想设计之制造所引起偏差相当不敏感。 |
