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发明名称
光电二极体阵列及其制造方法,及放射线检测器
摘要
一种光电二极体阵列及其制造方法以及放射线检测器,其课题为防止在封装时因光检测部之损伤而造成杂音之发生。一种光电二极体阵列,系在n型矽基板(3)之被检测光的入射面侧,以阵列状形成复数个光电二极体(4),且贯通入射面侧与其背面侧之贯通配线(8)系形成在光电二极体(4),在其入射面侧之未形成光电二极体(4)之非形成区域,设置其有规定的平面图案之空间层(6)而作成光电二极体阵列(1)。
申请公布号
TW200501439
申请公布日期
2005.01.01
申请号
TW093106303
申请日期
2004.03.10
申请人
滨松赫德尼古斯股份有限公司
发明人
柴山胜己
分类号
H01L31/09
主分类号
H01L31/09
代理机构
代理人
何金涂;何秋远
主权项
地址
日本
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