发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE COUCHES DE SILICIUM POLYCRISTALLIN A HAUTE DEFINITION
摘要 <P>La présente invention concerne un procédé de fabrication de dispositif à semiconducteur. </P><P>Selon ce procédé, on prévoit en cours de fabrication, la formation de couches de silicium polycristallin de recouvrement qui sont disposées au-dessus de portions sélectionnées d'un substrat semiconducteur 12 et isolées du substrat ainsi que l'une de l'autre </P><P>Application notamment à la fabrication de mémoires à accès aléatoire</P>
申请公布号 FR2382769(A1) 申请公布日期 1978.09.29
申请号 FR19780017173 申请日期 1978.06.08
申请人 MOSTEK CORP 发明人
分类号 H01L21/28;G11C11/35;G11C11/404;G11C11/412;H01L21/033;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/3205;H01L21/322;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/72;H01L21/30;G11C11/40 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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