光束均匀器,雷射照射装置及制造半导体装置之方法

摘要

本发明提供光束均匀器，可形成在长轴方向有均匀能量分布的矩形光束点，而不用需要以高准确度制造的光学透镜。此外，本发明提供雷射照射装置，可照射在长轴方向有均匀能量分布的雷射光束。再者，本发明提供制造半导体装置的方法，可提高基底表面晶性并以高作业特性制造TFT。光束均匀器在表面上形成光束点，照入纵横比为10以上(最好100以上)的矩形点，包括在长轴方向使矩形光束点能量分布均匀的光波导。