多晶矽薄膜电晶体阵列面板及其制造方法

摘要

本发明系提供一种制造薄膜电晶体阵列面板之方法，其包括：于一绝缘基板上沈积一非晶矽层；藉由使用一光罩之复数次雷射发射，将该非晶矽层转换为一多晶矽层；于该多晶矽层上形成一闸极绝缘层；于该闸极绝缘层上形成复数个闸极线路；于该等闸极线路上形成一第一层间绝缘层；于该第一层间绝缘层上形成复数个资料线路；于该等资料线路上形成一第二层间绝缘层；以及于该第二层间绝缘层上形成复数个像素电极，其中该光罩包含以混合方式排列的复数个透射区域与复数个阻挡区域。