电浆处理装置、环构件及电浆处理方法

摘要

针对利用电浆进行处理的电浆处理装置，达成进行互不相同的复数制程时的装置之共用化，并相以复数装置进行相同制程的时候，很容易获得装置间的电浆状态。以由绝缘材料的形成的环构件包括处理容器内的被处理基板，在该环构件内设有欲调整电浆的鞘领域的电极，例如针对被处理基板进行第二制程时，对该电极施加第一直流电压，于进行第二制程时，施加第二直流电压的构成。此场合，对应于每个制程或者进行相同制程的每个装置，施加适当的直流电压，获得电浆的状态，达到装置的共用化，还能很容易地进行电浆状态的调整。