发明名称 磁阻式随机存取记忆晶胞结构及其制造方法
摘要 一种磁阻式随机存取记忆(Magnetoresistive Random Access Memory;MRAM)晶胞结构及其制造方法,其系将用以写入选定磁阻式随机存取记忆晶胞之两导线均设置在磁阻式随机存取记忆晶胞结构之磁通道接面(Magnetic TunnelJunction;MTJ)元件之上侧。此外,此两导线之制作可利用沉积、微影、以及蚀刻等方式而不用化学机械研磨(Chemical Mechanical Polishing;CMP)方式。
申请公布号 TW200501467 申请公布日期 2005.01.01
申请号 TW092117707 申请日期 2003.06.27
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 林文钦;邓端理
分类号 H01L43/08;H01L21/8239 主分类号 H01L43/08
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区园区三路一二一号