ECR PLASMA SOURCE AND ECR PLASMA DEVICE,申请号KR20047015840-传众专利搜索

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发明名称	ECR PLASMA SOURCE AND ECR PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号	KR20040111486(A)	申请公布日期	2004.12.31
申请号	KR20047015840	申请日期	2003.04.09
申请人		发明人
分类号	H05H1/46;C23C14/22;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/18	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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