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发明名称 CAPACITIVELY COUPLED PLASMA REACTOR WITH MAGNETIC PLASMA CONTROL
摘要
申请公布号 KR20040111674(A) 申请公布日期 2004.12.31
申请号 KR20047018795 申请日期 2003.05.22
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01J27/16;H01J37/08;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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