METHOD FOR MANUFACTURING SILICON CARBIDE SINTERED COMPACT JIG AND SILICON CARBIDE SINTERED COMPACT JIG MANUFACTURED BY THE METHOD,申请号KR20047014218-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR MANUFACTURING SILICON CARBIDE SINTERED COMPACT JIG AND SILICON CARBIDE SINTERED COMPACT JIG MANUFACTURED BY THE METHOD
摘要
申请公布号	KR20040111393(A)	申请公布日期	2004.12.31
申请号	KR20047014218	申请日期	2003.03.07
申请人		发明人
分类号	C04B35/56;C04B35/565;C04B35/573;H01L21/673	主分类号	C04B35/56
代理机构		代理人
主权项
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