| 发明名称 |
Mikromechanische Vorrichtung, Drucksensor und Verfahren |
| 摘要 |
Es wird eine mikromechanische Vorrichtung, ein Drucksensor und ein Verfahren vorgeschlagen, wobei unterhalb einer Membran (32) ein abgeschlossener Hohlraum (42) vorgesehen ist, wobei die Membran (32) in einem ersten Membranbereich (100) eine größere Dicke aufweist als in einem zweiten Membranbereich (200).
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| 申请公布号 |
DE10323559(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.30 |
| 申请号 |
DE20031023559 |
申请日期 |
2003.05.26 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
MUCHOW, JOERG;JUNGER, ANDREAS;BENZEL, HUBERT;NITSCHE, JUERGEN;SCHAEFER, FRANK;DUELL, ANDREAS;VOSSENBERG, HEINZ-GEORG;SCHELLING, CHRISTOPH |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;(IPC1-7):B81B3/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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