发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5492180(A) 申请公布日期 1979.07.21
申请号 JP19770159283 申请日期 1977.12.29
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRONICS 发明人 IWAUCHI SHIGEKI
分类号 H01L29/80;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/73 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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