发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5492180(A) |
申请公布日期 |
1979.07.21 |
申请号 |
JP19770159283 |
申请日期 |
1977.12.29 |
申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRONICS |
发明人 |
IWAUCHI SHIGEKI |
分类号 |
H01L29/80;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L29/80 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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