发明名称 Wafer sowie Verfahren zum Herstellen eines Wafers
摘要
申请公布号 DE10123362(B4) 申请公布日期 2004.12.30
申请号 DE2001123362 申请日期 2001.05.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ABDUL-HAK, AYAD;CASPARY, DIRK;GRATZ, ACHIM;HAIBACH, PATRICK;KAMIENSKI, ELARD STEIN VON;KUTTER, CHRISTOPH
分类号 G01R31/3185;H01L23/544;(IPC1-7):H01L23/544;H01L21/66 主分类号 G01R31/3185
代理机构 代理人
主权项
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