Patterning of devices,申请号US20040478669-传众专利搜索

发明名称	Patterning of devices
摘要
申请公布号	US2004266207(A1)	申请公布日期	2004.12.30
申请号	US20040478669	申请日期	2004.08.26
申请人	SIRRINGHAUSS HENNING;CAIN PAUL ALAN	发明人	SIRRINGHAUSS HENNING;CAIN PAUL ALAN
分类号	G03F7/004;B41M5/00;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
主权项
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