| 发明名称 |
Airtight processing apparatus, airtight processing method, and electron beam processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004263819(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.30 |
| 申请号 |
US20040875166 |
申请日期 |
2004.06.25 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES |
发明人 |
YASUMITSU NAOKI;HIRAOKA EIICHI;TOMITA YOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/02;A47C27/08;C23C16/00;G01J1/00;G03B27/54;G03F7/20;G21G5/00;H01J37/16;H01J37/18;H01J37/20;H01J37/305;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03B27/54 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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