| 发明名称 |
Method and device for checking lithography data |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US2004268291(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.30 |
| 申请号 |
US20030609153 |
申请日期 |
2003.06.24 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY INC |
发明人 |
ALVAREZ-GOMARIZ HUSAYN;FUTRELL JOHN R C |
| 分类号 |
G03F1/14;G06F17/50;H01L21/66;(IPC1-7):G06F17/50 |
主分类号 |
G03F1/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
