| 发明名称 |
Method of and preventing focal plane anomalies in the focal plane of a projection system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2004263811(A1) |
申请公布日期 |
2004.12.30 |
| 申请号 |
US20040830406 |
申请日期 |
2004.04.23 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS BV |
发明人 |
MINNAERT-JANSSEN INGRID;BASELMANS JOHANNES JACOBUS MAT;VAN HOUT FRITS JURGEN;OORSCHOT PETER VAN;WAGNER CHRISTIAN;VAN ZWOL ADRIAAN ROELOF;VAN ES RODERIK WILLEM;WIELEN PETRUS AUGUSTINUS MARIE;VAN GINNEKEN HUBRECHT LODEWIJK |
| 分类号 |
G03B27/68;(IPC1-7):G03B27/68 |
主分类号 |
G03B27/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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