声表面波液相阵列传感器及其敏感膜的制备方法

摘要

一种声表面波液相阵列传感器及其敏感膜的制备方法，该传感器由多个声表面波延迟线传感器组成，通过对延迟线作开路、短路的方法可以检测液体的总体电特性参数，通过用激光脉冲沉积(PLD)技术在延迟线上制备敏感薄膜的方法，可以对液体中多种金属离子成分进行分析。本发明可在食品、工业、生物医学(如血液、体液)等领域中对液体的电特性以及多种金属离子进行定性和定量的检测。

主权项

1、一种声表面波液相阵列传感器，包括铜板(1)、压电基底(2)、插指电极对、延迟线通道，其特征在于：所述的插指电极对有n对，延迟线通道有n个，包括通过暴露延迟线上的压电基底形成的1个开路通道(8)、通过用金属材料短路延迟线形成的1个短路通道(7)和通过脉冲激光沉积技术在n-2个延迟线上的压电材料上制备对不同金属敏感的敏感膜(4)形成n-2个敏感通道(6)，各个通道按Y方向依次顺序并联组成在同一个压电基底上；延迟线四周装有保护叉指电极的密封环(3)，密封环(3)上装有检测腔盖(9)，检测腔(9)盖两端装有开液体进水口和出水口的塑胶导管(10、11)。