| 发明名称 |
Method for optimizing probe card analysis and scrub mark analysis data |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1061381(B1) |
申请公布日期 |
2004.12.29 |
| 申请号 |
EP20000112260 |
申请日期 |
2000.06.07 |
| 申请人 |
APPLIED PRECISION, LLC (A WASHINGTON CORPORATION) |
发明人 |
STROM, JOHN |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R1/00;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/28;G01R35/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R35/00 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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