发明名称 | 薄膜检漏箱 | ||
摘要 | 本发明涉及一种薄膜检漏箱,它具有两个相互铰接的框(2、3)、张紧在框内的薄膜(4、5)、一由薄膜构成的测试腔(8)、一位于框之间的密封件(12,13,18)和至少一个,优选多个在两个框(2,3)中的至少一个上的孔(7),这些孔可与一真空泵(15、16、22)的入口连接;为了改善检漏箱的关闭特性,建议,设一独立于测试腔(8)的可抽真空的边缘区(14),孔(7)通入此边缘区内。 | ||
申请公布号 | CN1182379C | 申请公布日期 | 2004.12.29 |
申请号 | CN00810832.3 | 申请日期 | 2000.07.06 |
申请人 | 因菲康有限公司 | 发明人 | 鲁迪·维德特;托马斯·阿贝伦 |
分类号 | G01M3/32 | 主分类号 | G01M3/32 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 孙征 |
主权项 | 1.薄膜检漏箱(1),具有两个相互铰链连接的框(2,3)、张紧在框内的薄膜(4,5)、一由薄膜构成的测试腔(8)、一位于框之间的密封件(12,13,18)和至少一个在两个框(2,3)中至少一个上的孔(7),该孔可以与一真空泵(15,16,22)的入口连接,其特征为:设有一独立于测试腔(8)的、可抽真空的边缘区(14),孔(7)通入该边缘区内。 | ||
地址 | 德国科隆 |