一种用牺牲层材料做支撑梁的微机械开关

摘要

本发明公开了属于微型电子元件领域的一种用牺牲层材料做支撑梁的微机械开关。其结构是在衬底的氧化层上面固定下极板、上极板和支撑梁，支撑梁在上下极板之间，上极板的两端，用牺牲层材料层做成。省去了传统微机械开关制作过程中所需的形成金属支撑梁的工艺，简化了工艺流程。同时解决了上层金属极板和金属支撑梁之间容易断裂的问题，提高了结构的稳定性和可靠性。该开关的使用寿命优于传统金属支撑梁结构的开关。

主权项

1.一种用牺牲层材料做支撑梁的微机械开关，其特征在于：所述用牺牲层材料做支撑梁的微机械开关的结构是在衬底1上氧化层2上面固定作为微机械开关下极板4金属层，上极板6的支撑梁在上下极板之间，上极板6的两端；过压保护的氮化硅层3仅覆盖下极板4部分。