COLLECTOR UNIT COMPRISING A REFLECTIVE ELEMENT FOR LIGHTING SYSTEMS HAVING A WAVELENGTH OF LESS THAN 193 NM,申请号EP20030711910-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	COLLECTOR UNIT COMPRISING A REFLECTIVE ELEMENT FOR LIGHTING SYSTEMS HAVING A WAVELENGTH OF LESS THAN 193 NM
摘要
申请公布号	EP1490733(A1)	申请公布日期	2004.12.29
申请号	EP20030711910	申请日期	2003.03.01
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	WEISS, MARKUS
分类号	G02B19/00;G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G02B19/00
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