| 发明名称 |
Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1394615(A3) |
申请公布日期 |
2004.12.29 |
| 申请号 |
EP20030255324 |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
DIERICHS, MARCEL MATHIJS THEODORE MARIE |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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