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发明名称 NON-CONTACTING DEPOSITION CONTROL OF CHALCOPYRITE THIN FILMS
摘要
申请公布号 WO03038871(A9) 申请公布日期 2004.12.29
申请号 WO2002US31573 申请日期 2002.10.15
申请人 ENERGY PHOTOVOLTAICS 发明人 DELAHOY ALAN E
分类号 C23C14/54;H01L21/00;H01L31/032;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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