ILLUMINATION DESIGN FOR SCANNING MICROLITHOGRAPHY SYSTEMS,申请号EP19980935725-传众专利搜索

发明名称	ILLUMINATION DESIGN FOR SCANNING MICROLITHOGRAPHY SYSTEMS
摘要
申请公布号	EP1010031(A4)	申请公布日期	2004.12.29
申请号	EP19980935725	申请日期	1998.07.16
申请人	CYMER, INC.	发明人	PARTLO, WILLIAM, N.
分类号	G02B27/00;G02B27/09;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/10;G03B27/42;G03B27/54	主分类号	G02B27/00
代理机构		代理人
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