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经营范围
发明名称
Power distribution system for microwave process chambers
摘要
申请公布号
GB1135238(A)
申请公布日期
1968.12.04
申请号
GB19660012611
申请日期
1966.03.22
申请人
CRYODRY CORPORATION
发明人
JEPPSON MORRIS RICHARD;SMITH FRANKLIN JAY
分类号
H05B6/78
主分类号
H05B6/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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