发明名称 Power distribution system for microwave process chambers
摘要
申请公布号 GB1135238(A) 申请公布日期 1968.12.04
申请号 GB19660012611 申请日期 1966.03.22
申请人 CRYODRY CORPORATION 发明人 JEPPSON MORRIS RICHARD;SMITH FRANKLIN JAY
分类号 H05B6/78 主分类号 H05B6/78
代理机构 代理人
主权项
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