微小角位移测量仪

摘要

一种高灵敏度的微小角位移测量仪，包含：安装于被测物体上的角位移反射镜；激光器，其向角位移反射镜发射单色准直的测量激光束；与激光器相对位置保持不变并且与角位移反射镜相对设置的固定反射镜，测量激光束在角位移反射镜与固定反射镜之间作若干次镜面反射；安装于固定反射镜表面的光点检测器，其安装位置位于测量激光束在角位移反射镜与固定反射镜之间作若干次镜面反射之后到达的位置附近。由于通过测量多次反射后光线在固定反射镜面上的位移来获取微小角位移，因此大大提高了测量灵敏度。而且这种提高灵敏度的方式仅仅是改变了光点检测器与测量仪器内其它单元之间的位置关系，因此实现方便可行，还可降低光点检测器的精度要求，节省了成本。

主权项

1.一种微小角位移测量仪，其特征在于，包含：安装于被测物体上的角位移反射镜；激光器，其向角位移反射镜发射单色准直的测量激光束；与激光器相对位置保持不变并且与角位移反射镜相对的固定反射镜，测量激光束在角位移反射镜与固定反射镜之间作若干次镜面反射；安装于固定反射镜表面的光点检测器，其安装位置位于测量激光束在角位移反射镜与固定反射镜之间作若干次镜面反射之后到达的位置附近。