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发明名称 TECHNIQUE FOR WRITING WITH A RASTER SCANNED BEAM
摘要
申请公布号 EP1490889(A2) 申请公布日期 2004.12.29
申请号 EP20030726168 申请日期 2003.03.31
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 VENEKLASEN, MARY, B.;RISHTON, STEPHEN, A.;WINTER, STACEY, J.;BOEGLI, VOLKER;KAO, HUEI, MEI
分类号 H01J37/09;H01J37/147;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/04;H01J37/302 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
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