发明名称 | 压电结构、液体喷射头及其制造方法 | ||
摘要 | 一压电结构,包括:一个振动板;一个压电膜;该振动板包括由单晶材料、多晶体材料,掺有与构成单晶材料的元素不同的元素的单晶材料,或者掺有与构成多晶体材料的元素不同的元素的多晶材料构成的一层,并且包括将前述层夹在中间的氧化层,该压电膜具有单一取向的晶体或单晶结构。 | ||
申请公布号 | CN1181977C | 申请公布日期 | 2004.12.29 |
申请号 | CN02121709.2 | 申请日期 | 2002.02.09 |
申请人 | 佳能株式会社;和佐清孝 | 发明人 | 海野章;米原隆夫;福井哲朗;松田坚义;和佐清孝 |
分类号 | B41J2/14;B41J2/16;H01L41/08;H01L41/22 | 主分类号 | B41J2/14 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
主权项 | 1.一种压电结构,包括:一个振动板;一个压电膜;所述振动板包括由单晶材料构成的一层,或者由单晶材料掺杂有与构成该单晶材料的元素不同的元素而构成的一层,还包括将前述层夹于中间的各氧化层;所述压电膜具有单一取向的晶体或单晶结构。 | ||
地址 | 日本东京 |